第105章 破局的利刃：国产光刻机与ZMS计划

大瑞的电话挂断后，监控室里的人还在为应用数量的突破而欢呼鼓掌。张折已经不在那里了。

他穿过走廊，回到办公室，没有开灯，径直走到落地窗边，背对着城市的灯火站了大概二十秒。

乔布斯把发布会提前到十二月二十八号，这个决定绝对不是仓皇应对，而是主动宣战。这头敏锐的狮子嗅到了全触控时代被人提前踹门的危险，选择在战场拥挤之前，用绝对的先发声量重新定义话语权。逻辑清晰，出手狠准。

乔布斯和安迪鲁宾绝不会眼睁睁看着zos把全球开发者卷走。高通妥协了，但美国商务部、台积电的断供公函随时会如雪崩般砸下。底层的硬件防御必须提前合拢。

张折回到桌前，拉开最下面那层抽屉。他摸出一张压在最底下的名片，名片边角已经起毛，上面印着的名字是上海微电子陈建国。他拿出一台没有任何标识的加密手机，按照名片上的号码拨了过去。

电话响了四声才接。

张总。陈建国的声音压得很低，透着掩饰不住的颤抖，背景里有低沉的机械运转声。

张折开门见山：光刻机现在什么情况。

电话那头沉默了将近三秒：明天，你亲自来看。

次日上午十点，上海嘉定区。指南针科技联合上海微电子投建的半导体设备研发基地，对外登记的名称是一家精密仪器制造公司。厂区外墙没有任何标识，大门口只有一块褪色的铝制门牌。

张折穿着全套防静电服，踏进无尘车间。刺眼的防紫外线黄光把整个空间染成深沉的琥珀色，空气里弥漫着一股冷却液特有的刺鼻气味。空气净化系统发出低沉的轰鸣声，压制住了周遭所有的杂音。

陈建国站在厚重的玻璃观察窗外，腰背挺直，双眼通红，眼袋沉重得往下坠。他死死盯着玻璃另一侧的一台足有两层楼高、管线错综复杂的钢铁巨兽。90nm制程光刻机的第一台原型机。

张折走上前，在机身旁边停住脚步。他沉默地站了几秒：能跑吗。

陈建国没回答，转头朝里间的控制台下达指令：进行测试工作程序。

曝光系统校准完毕。掩膜台对齐误差小于两纳米。光源输出稳定。几个戴着口罩的年轻工程师手心全都是汗，按下启动序列。

曝光腔内部的步进电机缓缓运转，承片台以肉眼几乎无法分辨的精度移动定位。黄光闪烁，机器内部传来精密部件极速摩擦的细微声响。

五分钟后，曝光完成。机械臂平稳地抓起那片硅晶圆，送入显影槽。两分钟的化学处理之后，检测探针迅速落下。大屏幕上跳出一行绿色的数据。

线宽90nm。排列整齐，间距均匀，没有断线。良率达到初步预设标准！

车间内瞬间爆发出压抑的嘶吼。几个年轻工程师抱在一起，有人直接蹲在地上哭出了声。

陈建国摘下防尘帽，面对着无尘车间的角落，吸了一口气，再呼出去。手抖得厉害。

成了。他的声音没什么起伏，但说完这两个字，他重重地擤了一把鼻涕，转过头看着张折。九个月。我们按照您的图纸和注资，把原型机搭出来了。双工件台的同步问题彻底解决了。他眼眶里蓄着泪，只要有这台机器，国内的晶圆厂就能跑起来。哪怕只做90nm，中低端芯片的盘子，我们自己能端稳！

张折盯着那块晶圆的放大投影，点了点头：台积电如果断供，这台机器能接住多少闪点二代的产能？

满载跑，配合中芯国际的产线，一个月一百万片没问题。陈建国咬牙切齿，良率现在差一点，用钱往里砸，半个月就能提上来。