第307章 追光三期EUV整机装配完成

  一整排顶部冷白工作灯从数十米高的桁架顶端垂落下来，把那台被多层围挡与气密隔区包裹的庞然设备照得纤毫毕现。不同於终端產线那种高速流转、节拍鲜明的忙碌，这里的时间像被人为压慢了。没有人高声说话，没有人隨意走动，连工具车在导轨上滑行时都被包上了消音层，只剩极细微的滚轮摩擦声在偌大的空间里缓慢迴响。

  主控屏右上方，状態条一直停在同一句话上：

  追光三期·整机总装进入最终闭环校准阶段

  而现在，这句话下面又多出一行刚刚刷新的黄色提示：

  高能段联调確认完成，等待总指挥权限確认

  林薇站在气密门內，没有第一时间往前走。

  她先看的是整张图。

  不是屏幕上的参数图，而是设备本体。

  那是一种只有真正长期做过整机秩序的人才会有的本能。先看整体呼吸感，再看局部数据。先看这台设备像不像一个能真正“活起来”的整体，再去判断它究竟还剩哪根神经末梢没有接好。

  追光三期比一代、二代都更大，也更安静。

  安静得甚至不像一台处在最终总装阶段的极限设备，反而像一头趴伏在冷白光下、尚未完全睁眼的巨兽。高精度主腔、光源接口、振动隔离底座、真空通路、控制柜阵列、流体冷却总成、检测反馈系统，被压在同一套秩序里，没有一处多余外露，也没有一处显得仓促补丁化。

  可正因为它看起来太像一个整体，林薇才更清楚，最危险的问题往往就藏在最后那一层“看起来已经完整”的平静里。

  总装负责人快步走到她身边，把权限板递过来，声音压得很低。

  “主腔体机械闭环已经完成，隔振底座和主控耦合也完成了，主光路静態对位误差压到目標窗口內。刚才那轮高能段联调，整体波动比二期末段好。”

  林薇接过权限板，没有立刻点確认，只问了一句：“哪个参数不对劲？”